德国莱宝分子泵性能咨询*** 广州潽拓光电公司

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广州潽拓光--英国爱德华iH1800干式真空泵

概述：爱德华半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。英国爱德华iH1800干式真空泵维修

技术参数如下：

英国爱德华iH1800干式真空泵功能和优势：优化了设施消耗。不同的真空泵油牌号，由于不同牌号油内的饱和蒸汽压不一样，所以其的结果是不一样的。无需预防性维护。悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。在节省功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

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德国普发 pfeifferhicube 真空泵组产品分类：德国普发pfeifferhicube eco真空泵：紧凑的设计和使得hicube eco真空泵组为许多应用提供了理想的解决方案；适用于所有的高真空应用；配备了hipace 80 涡轮分子泵和mvp 015干式隔膜前级泵；德国普发 pfeifferhicube classic 真空泵组：适用于所有的高真空和超高真空应用；抽速高达685 l/s，可配备干泵和油封前级真空泵。4、真空度下降：真空系统或进气管路读书或***，真空泵油被污染或变质，排气过滤器堵塞，进气过滤器或进气滤网堵塞。可选择抽速高达4.3 m3/h的干式隔膜前级泵或抽速高达6 m3/h的旋片泵作为前级真空泵；德国普发 pfeifferhicube pro 真空泵组：适用于所有的高真空应用；抽速高达685 l/s，可配备干泵和油封前级泵；它的特性是具有极高的抽速；可选择pentaline旋片泵和acp多级罗茨泵作为前级泵；

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