pfeiffer分子泵维修点常用解决方案

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安捷伦DS602高速直连旋片真空泵

varian DS602 高速直连旋片真空泵是真空技术应用领域中基本的真空获得设备之一，瓦里安Varian DS602主要用于低真空环境的科研、教学、真空应用设备的配套，瓦里安Varian DS602还用于空冷冻干燥、分析仪器、电光源生产等所有需要真空环境的作业领域。⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。

瓦里安Varian DS602的特点：

-瓦里安Varian DS602特有待机模式→更长的服务寿命，智能程序控制

-瓦里安Varian DS602特有节能能源→低运行成本，更环保

-瓦里安Varian DS602***电源模式→简单的后勤需求，可连接所有的标准电源供应系统，通用***电源

-瓦里安Varian DS602低的开关→开机维持-系统集成简便，降低成本

-瓦里安Varian DS602分子级密封→无漏油，与传统的旋片泵相比，明显有效提高了密封性

-瓦里安Varian DS602运行温度低→标准运行情况下散发更少的热量

-瓦里安Varian DS602噪音→低震动，舒适的工作环境

-瓦里安Varian DS602水蒸气容量→由于有温度控制，运行更可靠

-瓦里安Varian DS602维护简单→di的维护成本

广州潽拓光电——英福康INFICON MPG400

瑞士INFICON的MPG400冷阴极和皮拉尼复合真空计有MPG400和MPG402个型号，测量范围从?特性与优势*新的转子设计提高了性能，可以实现***的抽速和压缩比*终用户可以在极短的时间内完成彻底的维修，无需复杂的工具或大卸。5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压)。将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内，大大地降低了安装，设置和集成的复杂性。

MPG400冷阴极和皮拉尼复合真空计益处：

■复合真空规—冷阴极与皮拉尼

■宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压

■无可烧毁的灯丝

■的引燃功能

■易清洗

■FPM或金属密封的馈入件

■高压加上时LED指示灯亮

■对数模拟输出讯号

■高真空压强监测

■蒸发和溅射系统的压强测量

■一般真空测量和控制，从中至高真空范围

MPG400冷阴极和皮拉尼复合真空计选型指南：

MPG400 FPM sealed零件号说明351-010351-011351-012MPG400 真空计MPG400 DN 40 ISO-KFMPG400 DN 40 CF-FMPG401 metal-sealed零件号说明351-020351-021351-022351-023MPG401 DN 25 ISO-KFMPG401 DN 40 ISO-KFMPG401 DN 40 CF-F磁屏蔽

广州潽拓光电科技——出售Varian TV551分子泵

瓦里安Varian TV551涡轮分子泵共有四种规格

Varian Turbo-V 551 泵提供从 350 至 510 升/秒（视气体而定）的抽速，并且采用 产品线中****的技术。安捷伦涡轮分子泵经过优化设计，可以在低压强内实现高压缩比，在大抽气量和高前级压强是实现*大的压差。该泵为无油、无污染型，并且具有非常低的故障率，可以在任何角度工作而不对材料施加应力。典型的 MTTF 超过 250000 小时。涡轮分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体，并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的专用泵。将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内，大大地降低了安装，设置和集成的复杂性。

上图为Varian TV551 对应口径为ISO100，

Varian TV551对应不同的口径，不同订货号的如下（内置分子泵电源）

Varian TV551 Model 969-8832 with ISO 160 high vacuum flange;Varian TV551 Model 969-8842 with ISO 160 F high vacuum flange;Varian TV551 Model 969-8833 with ConFlat 8. external diameter high vacuum flange;Varian TV551 Model 969-98834 with ISO 100 high vacuum flange;

Varian TV551 Model 969-8835 with ConFlat 6. external diameter high vacuum flange.