PFEIFFER普发原理常用指南“本信息长期有效”

广州潽拓光电科技有限公司是一家***做莱宝分子泵维修、德国莱宝真空泵维修、原装莱宝真空泵维修、莱宝涡轮分子泵维修的公司，***莱宝分子泵***维修，修理，莱宝复合分子泵维修，修理，现在针对广州各地均可收件。

广州潽拓光电

BOC STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修，爱德华STP-iXA3306CV分子泵

BOC STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内***的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的 STPiXA3305 系列的新技术）。

BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于BOC STP-iXA3305 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。

BOC STP-iXA3306分子泵特性与优势：

与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%

可以配置为运行腐蚀性制程

紧凑型设计，包括完全集成的控制器

创新性自传感磁力轴承系统

数字化 5 轴控制

BOC STP-iXA3306分子泵用途：

溅射

离子注入源，射束线泵送和站

金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物）

电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

广州潽拓光电——Pfeiffer Hipace80分子泵

分子泵应用一：Hipace 80，Hipace 400 用于分子束外延 MBE，主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长。

分子泵应用二：Hipace 80，Hipace 300 用于SPECS 近常压光电子能谱仪设备

涡轮分子泵 Hipace 80 技术参数：分子泵型号接口 DN抽速 l/s压缩比高启动压强mbar极限压力全转速气体流量hPa l/s启动时间重量进气口排气口氮气

N2氦气He氢气 H2氮气

N2氮气N2hPa氮气N2minkgHiPace 806316675848gt; 1X101122lt; 1X10–71.31.752.4

分子泵应用：

分析仪器：电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析

半导体：PVD inspection bonding MBE load-locks

工业：***技术、工业检漏、隔离真空、灯管制造

Leybold Turbovac 35LS 分子泵的图片如下： 这是我司维修的一台 Leybold UL200 氦质谱检漏仪内部所用的TURBOVAC 35LS :对应转速为1050Hz，即63000转／分钟,对应Leybold

Leybold 35LS 分子泵还有1200Hz,对应转速为72000rpm,对应leybold 编号：85666，两者不能混用，请看图片：

广州潽拓光电科技***维修分子泵 我们代理及维修的分子泵维修品牌有： 法国阿尔卡特：Alcatel Adixen英国爱德华：BOC Edward*日本精工，岛津，大阪及荏原 ： Seiko Seiki Shimadzu Osaka Ebara德国莱宝，普发： Oerlikon Leybold Pfeiffer Balazer意大利瓦里安： Varian 代理及维修的分子泵，真空泵覆盖***一线的品牌