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发布时间:2020-01-27 20:01:29
我司从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,医liao,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),edwa***分子泵报价,BOC Edwa***,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一线品牌分子泵,真空泵,真空计***维修***/销售等业务。旋片真空泵的清洗工艺为了防止系统中任何容易大量放气的物质并去除高蒸气压的物质,必须进行彻底的处理。
真空泵的使用注意事项与故障处理
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。接下来广州潽拓光电为你介绍***全真空泵维修方法!
一、真空泵的维修
旋片真空泵长期使用后,会出现真空度下降、密封处漏油、真空泵转动停滞、甚至发生“卡死”、油污染严重、真空泵腔生锈、旋片有大的撞击声、真空泵腔内落入硬物划伤真空泵腔、造成真空泵过热等异常现象,此时必须对真空泵进行拆洗。其步骤为,
1、切断电源,将真空泵从真空系统上卸下,
2、用重力法或加压法将脏油放出并收集起来,edwa***分子泵维修,以免污染环境;
3、卸下皮带、皮带轮积键(双级旋片真空泵包含皮带);
4、先拆低真空端,取下后端盖,再取出低真空转子、旋片及弹簧等;
5、将前端盖拆下,edwa***分子泵,取出高真空转子、旋片及弹簧等;
6、取下视镜、排气阀、排气盖等;
7、将所拆下的金属零件用qi油彻底清洗干净,并用酒精脱水。橡胶零件可用15%的化钠水溶掖煮沸去油。对有毛刺或生锈的零部件.可用油石或金相砂纸轻轻地研磨,以去除锈斑和毛刺。清洗后的零部件必须烘干;
8、装配时,先装后级,将弹簧、旋片托起装入转子内,然后放入真空泵腔.装上前端盖.再装***销.均匀对称地拧紧螺钉。装配后.应保证转动灵活、均匀。装好前级转子及后端盖后,再装排气阀(排气阀片应贴紧阀座)及其它件,如气镇装置等。
维修真空泵注意事项:
1、应定期检查油位是否低干油标线。如低干油标线,应及时加油,杏则.会影响真空泵的真空度。油量也不宜过多,否则会引起起动困难,喷油等问题。
2、应经常注意真空泵运转是否正常,有无特殊声响,机是否超负荷运转,电机积真空泵的温开是否过高等。
3、用水冷却的真空泵,应防止冷却水中断,真空泵温不得超过70度。若环境温度低干5度,停机后应将真空泵内冷却水放净,以防真空泵体冻裂。
4、真空泵应经带保持清洁,真空泵上不得放置其它物件。
5、注意皮带松紧是杏适当.必要时应调整或更换。
6、应每年定期更换了1~3次真空泵油)。真空熔炼用的机械真空泵,每月可能换油多坎。这是由干真空泵在使用过程中,真空泵油会被灰、水分或其它脏物污染或皂、碳化,影晌真空泵的性能,因此,需要根据具体情况定期换油。
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英国Edwa***爱德华nEXT240D 涡轮分子泵维修
广州潽拓光电科技有限公司维修:
真空技术的*** Edwa*** 推出了 nEXT 涡轮分子泵。 nEXT 汲取成熟、可靠的 EXT 和 STP 系列(超过 200,000 台在实际运行)累积的十年经验,为科学涡轮泵树立了新的标杆。nEXT 平台实现高度的模块化,为满足客户应用和需求提供了灵活性。不同的真空元件和不同的材料都有自己特殊的清洁方法,常见的真空部件清洁方法如下。 每台泵都提供两种不同的内部配置,以实现不同的性能。
它们采用 24V 到 48V 直流无传感器电机,具备内置的驱动,与我们的 TAG 和 TIC 系列控制器完全兼容。 该分子泵有 80W 和 160W 两种预设功率可选。目前,油封机械真空泵是国内真空获得技术中应用***广的一种泵,它可单独用作低真空设备的排气用泵,也可用作高真空排气时的前级真空泵。前者适用于我们的 100W TIC 控制器,也是泵送气时的建议选择,但该功率下达到完全运行速度的加速时间比较长。
性能特点:
的转子设计,可以实现***的抽速和压缩比维护简便,用户可以在短时间内完成维护,无需复杂的工具或拆卸设计紧凑,性能***,可以实现***系统化与Edwa*** TIC涡轮仪表控制器兼容,可加3个真空规,edwa***分子泵质量,而无需额外控制器符合RoHS,并通过CSA/UL认可。它随附ISO100或CF100入口法兰,具备300ls-1的N2抽速。
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EXT75DX 爱德华复合涡轮分子泵
爱德华 EXT75DX 分子泵产品介绍
BOC Edwa*** EXT泵适用于除苛刻的半导体应用和科学应用(这些领域可使用STP系列泵)以外的任何领域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷轴承和磁悬浮轴承的组合形式。陶瓷轴承与传统轴承相比具有更轻、更硬和更平稳的优点,以及寿命长、小振动的优点。2ft3min-1极限真空(总压力)不带气镇1x10-3mbar/7。由于轴承滚珠和轴承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。
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