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广州潽拓光电——***维修Edwa*** EXT255H 涡轮分子泵

涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速qi、可控热核反应装置、重粒子加速qi以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速。

优点：

大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。

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Edwa*** E2M28双级油封式旋片机械真空泵


Edwa*** EM系列泵是结实耐用的机械油封泵，抽速为 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 CFM）。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，edwa***分子泵维修，具备***的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。热过载设备可防止过热（仅用于单相型号）该泵为自由放置的装置传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动连接器提供电机是全封闭的，通过电机冷却风扇进行冷却。

EM18 与 EM 28系列的油封旋转泵，该泵是自由放置的装置，其传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供。

Edwa*** EM系列泵特性和优点：

? 可靠性

可靠且稳定的制程 - 即使是在高气体负荷下也可提供有效的润滑

? 稳定

无制程污染 - 油和空气反吸保护

? 性能

长期无故障 - 传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承

? 再保证

安心 - 经过多年尝试、测试，已经成为工业标准

可靠且稳定 - 高真空性能

广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及***维修服务于一体的综合性企业，由从事多年真空系统开发，真空设备技术研发，维修工程师，工程师组成的一支技术实力雄厚，充满活力的高素质团队。

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Edwa*** EXT涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。EXT使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承，可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作，同时将维护需求降至**。

Edwa*** EXT 70H 24V Code：B722-26-991 对应口径ISO100

复合分子泵，是英国爱德华真空为分析仪器专门设计的分子泵， Edwa*** EXT70H 24V 复合

分子泵，是专为超高真空设计的。

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